அடி மூலக்கூறு:சிடிஜிஎம் / ஸ்கொட்
பரிமாண சகிப்புத்தன்மை:-0.05 மிமீ
தடிமன் சகிப்புத்தன்மை:± 0.05மிமீ
ஆரம் சகிப்புத்தன்மை:± 0.02 மிமீ
மேற்பரப்பு தட்டையானது:1 (0.5)@632.8nm
மேற்பரப்பு தரம்:40/20
விளிம்புகள்:தேவையான பாதுகாப்பு பெவல்
தெளிவான துளை:90%
கோண சகிப்புத்தன்மை:<5″
பூச்சு:ரப்ஸ்<0.5%@வடிவமைப்பு அலைநீளம்