அடி மூலக்கூறு:UV உருகிய சிலிக்கா
பரிமாண சகிப்புத்தன்மை:-0.1மிமீ
தடிமன் சகிப்புத்தன்மை:± 0.05மிமீ
மேற்பரப்பு தட்டையானது:1 (0.5)@632.8nm
மேற்பரப்பு தரம்:40/20
விளிம்புகள்:தரை, அதிகபட்சம் 0.3 மிமீ. முழு அகல பெவல்
தெளிவான துளை:90%
மையப்படுத்துதல்:<1'
பூச்சு:ரப்ஸ்<0.25%@வடிவமைப்பு அலைநீளம்
சேத வரம்பு:532nm: 10J/cm²,10ns துடிப்பு
1064nm: 10J/cm²,10ns துடிப்பு