லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில் ஒளியியல் கூறுகள்

குறைக்கடத்தித் துறையில் ஒளியியல் வடிவமைப்பு பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. ஒரு ஒளிக்கதிர் வரைவியல் இயந்திரத்தில், ஒளி மூலத்தால் வெளிப்படும் ஒளிக்கற்றையை மையப்படுத்தி, அதை சிலிக்கான் வேஃபரில் செலுத்தி சுற்று வடிவத்தை வெளிப்படுத்துவதற்கு ஒளியியல் அமைப்பு பொறுப்பாகும். எனவே, ஒளிக்கதிர் வரைவியல் அமைப்பில் ஒளியியல் கூறுகளின் வடிவமைப்பு மற்றும் உகப்பாக்கம், ஒளிக்கதிர் வரைவியல் இயந்திரத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான ஒரு முக்கியமான வழியாகும். ஒளிக்கதிர் வரைவியல் இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் சில ஒளியியல் கூறுகள் பின்வருமாறு:

திட்ட நோக்கம்
01 லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் ப்ரொஜெக்ஷன் நோக்கம் ஒரு முக்கிய ஒளியியல் கூறு ஆகும், இது பொதுவாக குவிந்த லென்ஸ்கள், குழிவான லென்ஸ்கள் மற்றும் ப்ரிஸங்கள் உள்ளிட்ட தொடர்ச்சியான லென்ஸ்களைக் கொண்டுள்ளது.
02 அதன் செயல்பாடு முகமூடியின் மீது உள்ள சுற்று வடிவத்தைச் சுருக்கி, ஃபோட்டோரெசிஸ்ட் பூசப்பட்ட வேஃபரின் மீது கவனம் செலுத்துவதாகும்.
03 லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் தெளிவுத்திறன் மற்றும் இமேஜிங் தரத்தில் ப்ரொஜெக்ஷன் நோக்கத்தின் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறன் ஒரு தீர்க்கமான செல்வாக்கைக் கொண்டுள்ளன.

கண்ணாடி
01 கண்ணாடிகள்ஒளியின் திசையை மாற்றி சரியான இடத்திற்கு செலுத்தப் பயன்படுகிறது.
02 EUV லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில், கண்ணாடிகள் குறிப்பாக முக்கியமானவை, ஏனெனில் EUV ஒளி பொருட்களால் எளிதில் உறிஞ்சப்படுகிறது, எனவே அதிக பிரதிபலிப்பு திறன் கொண்ட கண்ணாடிகளைப் பயன்படுத்த வேண்டும்.
03 பிரதிபலிப்பாளரின் மேற்பரப்பு துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையும் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் செயல்திறனில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

வடிகட்டிகள்
01 ஒளியின் தேவையற்ற அலைநீளங்களை அகற்ற வடிகட்டிகள் பயன்படுத்தப்படுகின்றன, இதனால் ஒளிக்கதிர் வரைவியல் செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் தரம் மேம்படுத்தப்படுகிறது.
02 பொருத்தமான வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், ஒரு குறிப்பிட்ட அலைநீளத்தின் ஒளி மட்டுமே லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்குள் நுழைவதை உறுதிசெய்ய முடியும், இதன் மூலம் லித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்த முடியும்.

ப்ரிஸம்கள் மற்றும் பிற கூறுகள்
கூடுதலாக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் குறிப்பிட்ட லித்தோகிராஃபி தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய ப்ரிஸம்கள், துருவமுனைப்பான்கள் போன்ற பிற துணை ஒளியியல் கூறுகளையும் பயன்படுத்தலாம். லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் உயர் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதி செய்வதற்காக இந்த ஒளியியல் கூறுகளின் தேர்வு, வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தி ஆகியவை தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப தரநிலைகள் மற்றும் தேவைகளை கண்டிப்பாகப் பின்பற்ற வேண்டும்.

சுருக்கமாக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் துறையில் ஆப்டிகல் கூறுகளின் பயன்பாடு, லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் செயல்திறன் மற்றும் உற்பத்தித் திறனை மேம்படுத்துவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது, இதன் மூலம் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தித் துறையின் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது. லித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், ஆப்டிகல் கூறுகளின் உகப்பாக்கம் மற்றும் புதுமை அடுத்த தலைமுறை சில்லுகளின் உற்பத்திக்கு அதிக ஆற்றலை வழங்கும்.

மேலும் நுண்ணறிவுகள் மற்றும் நிபுணர் ஆலோசனைகளுக்கு, எங்கள் வலைத்தளத்தைப் பார்வையிடவும்https://www.jiujonoptics.com/ தமிழ்எங்கள் தயாரிப்புகள் மற்றும் தீர்வுகள் பற்றி மேலும் அறிய.