லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில் ஆப்டிகல் கூறுகள்

செமிகண்டக்டர் துறையில் ஆப்டிகல் வடிவமைப்பு பரந்த அளவிலான பயன்பாடுகளைக் கொண்டுள்ளது. ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில், ஒளி மூலத்தால் உமிழப்படும் ஒளிக்கற்றையை மையப்படுத்துவதற்கும், சுற்று வடிவத்தை அம்பலப்படுத்த சிலிக்கான் செதில் மீது செலுத்துவதற்கும் ஆப்டிகல் அமைப்பு பொறுப்பாகும். எனவே, ஃபோட்டோலித்தோகிராபி அமைப்பில் ஆப்டிகல் கூறுகளின் வடிவமைப்பு மற்றும் தேர்வுமுறையானது ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் செயல்திறனை மேம்படுத்துவதற்கான ஒரு முக்கிய வழியாகும். ஃபோட்டோலித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில் பயன்படுத்தப்படும் ஒளியியல் கூறுகள் சில:

திட்ட நோக்கம்
01 ப்ரொஜெக்ஷன் ஆப்ஜெக்டிவ் என்பது லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தில் ஒரு முக்கிய ஆப்டிகல் அங்கமாகும், பொதுவாக குவிந்த லென்ஸ்கள், குழிவான லென்ஸ்கள் மற்றும் ப்ரிஸம் உள்ளிட்ட லென்ஸ்கள் வரிசையாக இருக்கும்.
02 அதன் செயல்பாடு முகமூடியில் உள்ள சுற்று வடிவத்தை சுருக்கி, ஒளிச்சேர்க்கை பூசப்பட்ட செதில் மீது கவனம் செலுத்துவதாகும்.
03 திட்ட நோக்கத்தின் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறன் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் தீர்மானம் மற்றும் இமேஜிங் தரத்தில் தீர்க்கமான தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

கண்ணாடி
01 கண்ணாடிகள்ஒளியின் திசையை மாற்றவும், அதை சரியான இடத்திற்கு இயக்கவும் பயன்படுகிறது.
02 EUV லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களில், கண்ணாடிகள் குறிப்பாக முக்கியமானவை, ஏனெனில் EUV ஒளி எளிதில் பொருட்களால் உறிஞ்சப்படுகிறது, எனவே அதிக பிரதிபலிப்பு திறன் கொண்ட கண்ணாடிகள் பயன்படுத்தப்பட வேண்டும்.
03 பிரதிபலிப்பாளரின் மேற்பரப்பு துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையும் லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் செயல்திறனில் பெரும் தாக்கத்தை ஏற்படுத்துகிறது.

வடிப்பான்கள்
01 வடிப்பான்கள் ஒளியின் தேவையற்ற அலைநீளங்களை அகற்றவும், ஒளிப்படவியல் செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் தரத்தை மேம்படுத்தவும் பயன்படுகிறது.
02 பொருத்தமான வடிகட்டியைத் தேர்ந்தெடுப்பதன் மூலம், ஒரு குறிப்பிட்ட அலைநீளத்தின் ஒளி மட்டுமே லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்திற்குள் நுழைவதை உறுதிசெய்ய முடியும், இதன் மூலம் லித்தோகிராஃபி செயல்முறையின் துல்லியம் மற்றும் நிலைத்தன்மையை மேம்படுத்துகிறது.

ப்ரிஸம் மற்றும் பிற கூறுகள்
கூடுதலாக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரம் குறிப்பிட்ட லித்தோகிராஃபி தேவைகளைப் பூர்த்தி செய்ய ப்ரிஸம், போலரைசர்கள் போன்ற பிற துணை ஒளியியல் கூறுகளையும் பயன்படுத்தலாம். இந்த ஆப்டிகல் கூறுகளின் தேர்வு, வடிவமைப்பு மற்றும் உற்பத்தி ஆகியவை லித்தோகிராஃபி இயந்திரத்தின் உயர் துல்லியம் மற்றும் செயல்திறனை உறுதிப்படுத்த தொடர்புடைய தொழில்நுட்ப தரநிலைகள் மற்றும் தேவைகளை கண்டிப்பாக பின்பற்ற வேண்டும்.

சுருக்கமாக, லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் துறையில் ஆப்டிகல் கூறுகளின் பயன்பாடு லித்தோகிராஃபி இயந்திரங்களின் செயல்திறன் மற்றும் உற்பத்தி திறனை மேம்படுத்துவதை நோக்கமாகக் கொண்டுள்ளது, இதன் மூலம் மைக்ரோ எலக்ட்ரானிக்ஸ் உற்பத்தித் துறையின் வளர்ச்சியை ஆதரிக்கிறது. லித்தோகிராஃபி தொழில்நுட்பத்தின் தொடர்ச்சியான வளர்ச்சியுடன், ஆப்டிகல் கூறுகளின் மேம்படுத்தல் மற்றும் புதுமை ஆகியவை அடுத்த தலைமுறை சில்லுகள் தயாரிப்பதற்கான அதிக ஆற்றலை வழங்கும்.

மேலும் நுண்ணறிவு மற்றும் நிபுணர் ஆலோசனைக்கு, எங்கள் வலைத்தளத்தைப் பார்வையிடவும்https://www.jiujonoptics.com/எங்கள் தயாரிப்புகள் மற்றும் தீர்வுகள் பற்றி மேலும் அறிய.