அடி மூலக்கூறு:B270 / ஃப்ளோட் கிளாஸ்
பரிமாண சகிப்புத்தன்மை:-0.1மிமீ
தடிமன் சகிப்புத்தன்மை:± 0.05மிமீ
TWD:PV<1 Lambda @632.8nm
மேற்பரப்பு தரம்:40/20
விளிம்புகள்:தரை, அதிகபட்சம் 0.3 மிமீ. முழு அகல பெவல்
இணைநிலை:<5”
தெளிவான துளை:90%
பூச்சு:ரப்ஸ்<0.5%@வடிவமைப்பு அலைநீளம், AOI=10°